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案件記録

一种基于水热法的二氧化钛纳米柱超透镜的制备方法

発明有効
10請求項 · 1 独立
§ Ⅰ

案件概要

IPC分類

C03C 17/245 (2006.01)G02B 3/00 (2006.01)G03F 7/00 (2006.01)G02B 1/00 (2006.01)

本发明涉及一种基于水热法的二氧化钛纳米柱超透镜的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:玻璃衬底的表面沉积锐钛矿相二氧化钛种子层;对锐钛矿相二氧化钛种子层进行分区图案化,经曝光显影、去胶,得到具有分区分布种子层阵列的玻璃衬底;通过水热法在具有分区分布种子层阵列的玻璃衬底上生长二氧化钛纳米柱,生长结束后进行表面平整化,退火,得到二氧化钛纳米柱超透镜。本发明采用锐钛矿相二氧化钛作为种子层,降低了二氧化钛纳米柱生长的成核活化能,从而降低了水热法的生长温度;此外,分区分布的种子层阵列则能够约束纳米柱生长位点,也有利于低温下进行纳米柱的有序生长。

外部リソース