石英件表面纳米柱生长方法及生长装置

本申请涉及半导体表面工程技术领域，尤其涉及一种石英件表面纳米柱生长方法及生长装置。该石英件表面纳米柱生长方法，包括以下步骤：将清洗干净的石英件置于聚合物稳定剂、醇溶剂、盐稳定剂水溶液、催化剂和乙醇形成的混合溶液中10min～60min，使石英件的表面吸附乳液液滴；向混合溶液中滴加二氧化硅前驱体，乳液液滴与二氧化硅前驱体反应，得到表面具有纳米柱的石英件。其能够调控石英件表面纳米柱的形貌和密度，提升石英件表面的附着力。