一种低温烧结温度稳定型氟氧化物纳米晶陶瓷及其制备方法

本发明公开了一种低温烧结温度稳定型氟氧化物纳米晶陶瓷及其制备方法，所述纳米晶陶瓷的化学式为LiMgSbOF，其晶体结构由正交相主晶相和立方相次晶相组成，平均晶粒尺寸为220～240 nm。本发明通过在LiMgSbO中引入适量的MgF作为镁源，不仅改变了LiMgSbO基陶瓷晶体结构和晶粒尺寸，同时使其兼具低温烧结（< 900 ℃）和良好微波介电性能：τ为‑13.1～‑9.5 ppm/℃，Q×f为33300～56600GHz，ε范围为9.8～10.4。本发明陶瓷材料的制备工艺简单，所用原料丰富、成本低廉，有利于工业化生产，可广泛应用于低温共烧陶瓷系统、介质谐振器、介质天线等电子元器件的制造。