一种基于焦耳热热压烧结的高纯氧化钇靶材的制备方法

本发明一种基于焦耳热热压烧结的高纯氧化钇靶材的制备方法，属于特种陶瓷制备技术领域，首先采用高活性亚微米尺度的近球形氧化钇粉末，通过真空、氧气气氛切换的方式干燥，然后采用石墨模具、BN涂层的扩散阻挡组合制备冷压素坯；最后通过三阶段焦耳热热压烧结制备氧化钇靶材。本发明实现了低温、短时、高致密化YO靶材烧结，同时极致化地抑制了晶粒长大和热应力开裂，制备出的高纯度、高致密、高性能的氧化钇靶材，可以满足半导体和光学涂层等领域对高质量氧化钇靶材的需求。