一种低介电SiOC陶瓷粉体及其制备方法与应用

本发明涉及无机材料技术领域，尤其涉及一种低介电SiOC陶瓷粉体及其制备方法与应用。本发明提供的低介电SiOC陶瓷粉体具备低介电特性以及高绝缘性，介电损耗角正切值＜0.0010，表面电阻＞4×10Ω，体积电阻＞5×10Ω，电导率Ec＜10μS/cm，低介电SiOC陶瓷粉体晶型为无定型相，无碳的结晶峰，白度＜5%，密度≥2.0g/cm。本发明制备的低介电SiOC陶瓷粉体具备低介电特性以及高绝缘性，并且低介电SiOC陶瓷粉体晶型为无定型相，无碳的结晶峰，实施例的评价结果符合高频高速电路、封装等电子级场景用低介电SiOC陶瓷粉体需求。