一种动态压力辅助氮化铝陶瓷的键合工艺及产品

本发明涉及陶瓷键合技术领域，尤其是指一种动态压力辅助氮化铝陶瓷的键合工艺及产品，S1，激光毛化：对待键合的陶瓷材料的表面进行激光毛化处理；S2，装模：将步骤S1中毛化处理后的陶瓷材料放入键合模具中，后置于动态压力烧结炉中；S3，初次施压键合：对陶瓷材料预加压力P保持稳定，并升温至T，对样品施加初次动态压力进行高温键合，保温h；S4，二次施压键合：泄压至P，并降低温度至T，对陶瓷材料施加二次动态压力或静态压力进行低温键合，保温h；S5，退温泄压：对步骤S4中保温完成后的键合材料缓慢退温至室温，卸力，冷却后得陶瓷键合样品。本发明解决了传统静态压力键合工艺中温度高，时间长和界面强度低以及振荡键合工艺中残余应力大等问题。