一种有机硅改性干膜光刻胶树脂、其制备方法及应用

本发明属于光致抗蚀剂材料技术领域，特别涉及一种有机硅改性干膜光刻胶树脂、其制备方法及应用，所述有机硅改性碱溶性丙烯酸树脂，是由包括以下单体的原料通过自由基共聚反应制得的共聚物：含羧基烯键式不饱和单体，提供碱溶性；丙烯酸酯类单体，提供成膜性和柔韧性；丙烯酸酯有机硅单体CH=C(R)‑C(O)‑O‑(CH)‑Si(R)，R代表H或CH；R代表甲基或苯基；n为2至6的整数；其中，以共聚物总重量计，所述丙烯酸酯有机硅单体在共聚物中的结构单元含量为0.001wt%至1wt%。通过共聚改性将有机硅链段化学键合到树脂骨架上，解决了物理共混的相容性问题，实现了界面性质的永久性、稳定性改良。