一种含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯的共聚物及其制备方法、ArF光刻胶及应用

本申请涉及ArF光刻胶技术领域，具体公开了一种含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯的共聚物及其制备方法、ArF光刻胶及应用。一种含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯的共聚物，以mol%计，包括以下组分：45‑60mol%的A单体、35‑55mol%的B单体、5‑15mol%的C单体，所述A单体为侧链包含内酯的(甲基)丙烯酸酯单体，所述B单体为侧链含有保护基团的(甲基)丙烯酸酯单体，所述C单体为侧链含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯单体。本申请的含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯的共聚物可用于ArF光刻胶制备，其具有分辨率高、图像形貌好、化学性能稳定等优点，且对线宽粗糙度（line width roughnrss，LWR）实现意外优化的效果。