一种掺钪氮化铝蚀刻液组合物及蚀刻方法

本发明公开了一种掺钪氮化铝蚀刻液组合物，主要组分为强碱性主剂、硝酸盐、氟盐、氧化剂、络合剂和水，还包括选择性添加剂；选择性添加剂主要包括糖醇添加剂和低级醇添加剂，糖醇添加剂为选自C4～C12糖醇类化合物的至少一种，低级醇添加剂为选自C2～C3多元醇的至少一种；蚀刻液组合物中糖醇添加剂的质量百分比为1%～10%，低级醇添加剂的质量百分比为4%～17%。该掺钪氮化铝蚀刻液组合物引入氟盐、C4～C12糖醇类化合物和C2～C3多元醇，提升蚀刻液组合物对掺钪氮化铝蚀刻速率的同时，提升蚀刻液组合物对掺钪氮化铝和二氧化硅的选择比，改善蚀刻后工件孔周的二氧化硅侧蚀问题。本发明还公开了一种掺钪氮化铝的蚀刻方法。