CNIPA.AI
검색으로 돌아가기
기록

激光显微切割系统及方法

발명유효
1조회수
15청구항 · 9 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

F·施劳德拉夫; J·马尔; F·霍夫曼

IPC 분류

C12M 1/42 (2006.01)G02B 21/26 (2006.01)G02B 21/06 (2006.01)G02B 21/34 (2006.01)G02B 27/10 (2006.01)C12M 1/00 (2006.01)C12M 1/36 (2006.01)C12M 1/34 (2006.01)C12N 5/00 (2006.01)C12N 13/00 (2006.01)

一种激光显微切割系统,包括:显微镜,其具有对准样品空间的物镜;以及激光光源,配置为生成操纵光束。激光显微切割系统还包括切割单元,配置为将操纵光束耦合至显微镜,并通过将操纵光束根据与样品上包围离析物的轮廓相关的轮廓数据引导至样品上,将离析物从样品空间中布置的样品中分离。激光显微切割系统还包括孔位定位单元,配置为使包含至少一个设置于样品下方的孔位的收集布置相对于物镜的光轴移动,其中孔位配置为捕获离析物。激光显微切割系统还包括控制器,配置为基于轮廓数据控制孔位定位单元移动收集布置,使孔位的开口的中心定位于离析物的下方。