一种基于离子氮化及离子注入处理的新型多层多元柱塞涂层及其制备方法和应用

本发明公开了一种基于离子氮化及离子注入处理的新型多层多元柱塞涂层的制备方法，包括将预处理后的基材置于渗氮表面处理的装置中进行热处理进行离子氮化形成强化支撑层，将得到强化支撑层的基材交替进行多次金属离子注入和非金属离子注入得到过渡功能层，将得到过渡功能层的基材置于离子束辅助沉积装置的真空室内，设置溅射靶材为Ag，沉积形成Ag涂层形成润滑功能层冷却后，得到柱塞复合涂层；本发明还公开了一种基于离子氮化及离子注入处理的新型多层多元柱塞涂层和在柱塞泵中的应用。