一种金属部件等离子合金化处理方法

一种金属部件等离子合金化处理方法，涉及金属材料表面改性技术领域。该方法包括，将金属部件置于真空室中，通入含碳、氮的混合气体，并将由纳米金属粉末与粘结剂制成的预制靶材固定于部件待处理表面；采用双频电源，以高频电源产生高密度等离子体对部件进行溅射清洗，同时以脉冲偏压电源预热至550‑650℃；切换至合金化模式，调整脉冲偏压至800‑1200V，占空比30%‑50%，利用等离子体同时轰击部件表面和预制靶材，使靶材元素与气体元素共同渗入部件表面，处理120‑180分钟。经此处理，45钢表面硬度可达1800HV以上，耐磨性提升5‑8倍，涂层结合力大于80N，实现了高效、环保、高性能的表面合金化。