一种合金基材表面多层复合金属涂层的真空镀膜方法及其应用

本发明公开了一种合金基材表面多层复合金属涂层的真空镀膜方法及其应用，本发明涉及真空镀膜技术领域。该方法通过电子束增强等离子体清洗、金属离子轰击、梯度金属沉积和热处理的多步协同作用，在合金基材表面形成致密且结合力强的钽或铌/锆铌合金/锆铌氧化多层涂层。涂层硬度可达655–1000 HV，且耐600℃热冲击循环50次无裂纹。本发明特别适用于骨科、齿科等医用植入物的表面强化，显著提升其耐磨性和生物安全性。