一种基于连续掩膜板的高通量固态电解质筛选方法及其系统

本发明涉及高通量技术领域，特别涉及一种基于连续掩膜板的高通量固态电解质筛选方法及其系统。本发明提供的一种基于连续掩膜板的高通量固态电解质筛选方法，根据预设需求信息确定多种靶材以及每种靶材对应的连续掩膜板、镀膜顺序和镀膜运动参数；一种靶材镀膜时，控制连续掩膜板的每轮镀膜依次根据主方向和偏移方向对应的预设移动距离进行组合运动，直至连续掩膜板在多轮组合运动后待镀膜区完全暴露或连续掩膜板完全遮盖待镀膜区；完成多种靶材镀膜后，将在待镀膜区的所有单元区域内的固态电解质进行高通量固态电解质筛选。通过主方向与偏移方向的协同运动，实现掩膜板多向移动，使不同靶材沿设定方向精准镀膜，达成各区域沉积量的精确控制。