一种钽掺杂氮化物涂层及其制备方法

本发明公开了一种钽掺杂氮化物涂层及其制备方法，制备方法包括以下步骤：1）、对基体表面进行预处理；2）、采用电弧离子镀方式，利用Cr靶在基体表面沉积得到0.15‑0.3μm厚的CrN过渡层；3）、采用电弧离子镀方式，利用CrAlSi靶和Ta靶在CrN过渡层上沉积得到2‑3μm厚的CrAlTaSiN涂层。本发明的钽掺杂氮化物涂层有利于增加涂层的维氏硬度，增强了涂层与基体的结合力，提升了涂层的室温和高温耐摩擦性能。