一种具有超大铁电极化的铪基薄膜材料及制备方法

一种具有超大铁电极化的铪基薄膜材料及制备方法，属于铪基氧化物铁电材料技术领域。该材料结构为：HfZrO薄膜材料由两相组成，HfZrO为正交晶系，空间群为Pca2；HfZrO为单斜晶系，空间群为Pc。通过在通过激光脉冲沉积制备高质量的外延锆掺铪基铁电薄膜，合成步骤简单；通过基底晶格应力提升HfZrO薄膜的结晶质量，增加晶格有序度；通过调节薄膜的氧空位浓度产生化学应力，进而诱导产生新的铁电相结构，极大地提升了铪基铁电薄膜铁电性。优点在于，克服了仅利用Pca2铁电相提升铁电性能的限制，同时也比传统ALD制备的铪基铁电薄膜拥有更低的缺陷密度和更高的剩余极化值，使之真正地走向应用成为可能。