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기록
抗杂散光高透镀膜镜片制备方法
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
底马可; 赵二帅; 蔡啸谷
IPC 분류
C23C 14/08 (2006.01)G02B 1/10 (2015.01)G02B 1/115 (2015.01)C23C 14/10 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)C23C 14/56 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)C23C 16/44 (2006.01)C23C 16/40 (2006.01)C23C 16/52 (2006.01)
本发明涉及应用于光学元件领域的抗杂散光高透镀膜镜片制备方法,包括如下步骤:S1.预处理,S2.夹持,S3.多层镀膜,S4.后处理,在基材表面依次进行第一AR膜和第二AR膜的双面沉积工艺,能够有效抑制外界环境光对信号光的干扰,减少信号强度波动,提高眼动追踪数据的识别准确率,并且在镀膜过程中通过阻断防护系统的设置,能够对基材的温湿度数据进行调控补偿,有效防止基材由于吸湿或者镀膜过程产生的内应力,导致其发生形变问题,尤其在第二AR膜沉积时,采用吸湿阻断的方式对第一AR膜形成保护屏障,避免水分渗透引发的膜层卷边等缺陷,确保抗杂散光高透镀膜镜片的制备精度与良品率。