一种真空宽温域自润滑复合膜及其制备方法和应用

本发明公开了一种真空宽温域自润滑复合膜及其制备方法和应用。本发明的真空宽温域自润滑复合膜包括依次层叠复合的Cr层、Cr‑Si‑C梯度过渡层和Mo‑S‑C‑Si层，Cr‑Si‑C梯度过渡层沿靠近Cr层至远离Cr层的方向，Cr的原子百分数从99.5％递减至0，且Si的原子百分数从0递增至4％，Mo‑S‑C‑Si层包括以下原子百分比的组分：Mo：16％～20％；S：26％～32％；Si：2％～4％；C：余量。本发明的真空宽温域自润滑复合膜兼具真空宽温域自润滑性能和强界面结合性能，且其制备方法具有沉积温度低、材料利用率高、工艺重复性好、制备的薄膜均匀性好等优点，适合在空间运动部件上进行大规模应用。