一种耐盐腐蚀的电磁屏蔽柔性复合面料及制备方法

本申请公开了一种耐盐腐蚀的电磁屏蔽柔性复合面料及制备方法，本方案通过采用Ni、Cu、Ag组合的金属膜作为屏蔽层，与传统单一金属膜相比，提高了屏蔽效能；另外，通过在银层表面引入氮化物，填补晶界空位，从而抑制AgCl形成；并且，通过在氮化银钝化层的表面沉积TiO纳米保护膜以提升环境耐久性，与传统无保护层的材料相比，提高了耐盐雾腐蚀性能；同时，通过氩气等离子体刻蚀处理，增强了界面结合力，与传统化学镀法相比，避免了镀层不均匀和结合力弱的问题；以及采用磁控溅射通过气压闭环控制与靶材功率实时调节，使沉积速率均匀性提高，消除了传统电镀的边缘增厚效应。