窄带滤光片的制备方法

一种窄带滤光片的制备方法包括步骤：S1，将玻璃基底的表面清洁处理；S2，将处理好的玻璃基底放入工装夹具，挂入真空镀膜机腔体内；S3，抽真空，真空度达到1.0×10Pa，射频离子源清洗；S4，第一面镀制短波通膜系；S5，第一面镀制短波通膜系完成后，待腔体冷却至50‑60℃以下将工装夹具连同第一面镀制完成的玻璃基底取出；S6，重复步骤S1至步骤S3；S7，在第二面镀制增透膜系；S8，在第二面镀制增透膜系完成后，待腔体冷却至50‑60℃以下将工装夹具连同玻璃基底取出。制备的玻璃基底连同第一面的短波通膜系和第二面的增透膜系在0°测试角度在530±20nm波段(即窄带)的透过率平均为99.5％以上而在窄带的两侧400‑500nm和560‑700nm波段截止的透过率平均均在0.3％以下。