一种超硬复合膜层的制备方法

本发明公开了一种超硬复合膜层的制备方法，采用真空镀膜技术进行多层复合膜层的制备。本发明针对金属结构件膜层分段加工损失率高，及现有PVD颜色层绝缘差、耐刮不足易脱落问题，采用真空镀膜一体化制备超硬复合膜层。先真空等离子处理基材以保洁净，再依次镀制结合层、颜色层、光学层和超硬层，最后镀制过渡层及防指纹层。最终，使膜层的纳米压痕硬度≥14GPa，光学层同步解决绝缘问题，一体化加工大幅降低产品损失率。