一种多工位滤光片表面镀膜装置及其方法

本发明的一种多工位滤光片表面镀膜装置及其方法，属于镀膜装置技术领域，包括：设置磁悬浮输运系统、溅射系统及动态气幕隔离系统于一单一的隧道式主真空腔室内，其中，磁悬浮输运系统包括安装在腔室外部的线性驱动线圈、设置在腔室内部用于承载基板的磁悬浮托盘、以及安装在腔室外部的位置检测单元，托盘与线圈通过腔室壁实现磁场耦合；溅射系统包括依次安装在腔室内顶壁的多个溅射靶材，本发明的核心进步在于采用一套磁悬浮输运系统，解决了微粒污染问题；该系统精妙之处在于，其线性驱动线圈设置于腔室外部，而承载基板的磁悬浮托盘容纳于腔室内部，两者之间并无任何机械连接，仅通过非磁性的腔室壁实现磁场耦合。