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案件記録

高硬度高耐磨表面精密涂层制备方法

発明有効
9請求項 · 1 独立
§ Ⅰ

案件概要

IPC分類

C23C 14/50 (2006.01)C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/02 (2006.01)C23C 14/14 (2006.01)C23C 14/06 (2006.01)

本发明高硬度高耐磨表面精密涂层制备法,流程:对应设置快捷展开式挂具承载结构、上部挂设模组;产品挂设时,呈12‑18°的倾斜状;推入涂层制备设备进行高速涂层制备;涂层制备设备内进行加热至150°;炉体内填充氩气0.5Pa,离子源模组进行离子刻蚀;磁性溅射模块进行铬打底;磁性溅射模块、磁过滤电弧进行铬及碳化钨混镀;磁过滤电弧进行碳化钨镀膜;磁性溅射模块进行铬层镀膜;磁性溅射模块、磁过滤电弧进行铬及碳化钨混镀;磁过滤电弧进行碳化钨镀膜;加强外层制备:炉体内填充C2H2气体1Pa,磁控线圈5通直流电5A,偏压600V,磁性溅射模块、磁过滤电弧组进行铬及碳化钨混度,最终形成厚度20μ的高硬度高耐磨表面精密涂层。

外部リソース