一种真空镀膜工艺参数自适应调节方法及系统

本发明公开了一种真空镀膜工艺参数自适应调节方法及系统，包括数据采集层、DRL智能体和执行层，其中所述DRL智能体包含策略网络和评价网络，所述DRL智能体采用双循环学习机制，包括离线模仿学习模块和在线强化学习模块。本技术方案通过DRL解耦多辊耦合，张力波动控制精度相对传统PID控制明显提升；并且通过在线学习机制自动补偿辊径热变形、环境扰动等因素，动态适应性增强，无需人工调整；并且本技术方案融合视觉缺陷检测的闭环控制，使膜厚均匀性大大提升，褶皱缺陷率明显降低。