用于物理气相沉积过程中贵金属回收的涂层及方法

本发明公开了一种用于物理气相沉积过程中贵金属回收的涂层及方法，该涂层主要由位于下层的镀银层和位于镀银层表面的有机硅改性层组成。回收贵金属前，首先在物理气相沉积过程中需要进行贵金属回收的位置表面制备该涂层，物理气相沉积完成后，采用粘胶带粘贴在涂层表面，再通过撕扯粘胶带的方式将贵金属从涂层表面剥离；或者采用工具刮除涂层表面，使得贵金属从涂层表面剥离并收集剥落的贵金属屑；最后带有贵金属的粘胶带或者收集的贵金属屑加热并从加热产物中回收贵金属。本发明可实现贵金属的高效剥离和贵金属的高效回收，并且该涂层对物理气相沉积设备和工艺过程无影响，回收贵金属时工艺简单，操作性强，环保无污染，经济性高，可大规模应用于贵金属的回收过程。