具有气幕模块的化学气相沉积系统和方法

本申请涉及具有气幕模块的化学气相沉积系统和方法。公开了一种化学气相沉积系统、一种化学气相沉积系统的气体分配系统用气幕模块以及一种用于这种系统的阀控制方法。用于将沉积产物从反应器转移至收集室的气体分配系统包括位于气体流动入口和收集阀之间的管道中的气幕模块，其中气幕模块包括一个或多个吹扫气体入口，并且配置为在其位置将吹扫气体引入管道。