一种用于气相沉积碳素产品制备的智能产线及方法

本发明公开了一种用于气相沉积碳素产品制备的智能产线及工艺，涉及先进材料制造技术领域，包括地轨机器人、AGV运输车、中央控制系统和制备系统；地轨机器人一端设置仓库系统；AGV运输车用于将物料由原料仓库转运至相应的制备系统，地轨机器人用于制备系统之间的成品转移；中央控制系统用于控制单个制备系统工作或至少两个制备系统之间的联动工作，成品仓库用于接收地轨机器人输出的成品；地轨机器人一侧设置第一制备系统，另一侧依次设置第二制备系统和第三制备系统，第一制备系统用于基体制备，第二制备系统用于涂层制备，第三制备系统用于单晶制备。本发明集成了CVD涂层及碳素产品、SiC单晶制备环节，实现从原料到成品的高效、柔性的连续化生产。