一种易分解固态前驱体输送装置及输送方法

本发明涉及一种易分解固态前驱体输送装置及输送方法，包括瓶体，瓶体内设置有第一腔体与第二腔体，第一腔体与第二腔体沿竖直方向设置，第二腔体设置于第一腔体的下方，第一腔体的底部设置有供固态前驱体流入第二腔体内的通道，第一腔体用于放置待升华的固态前驱体，第二腔体用于对流入的固态前驱体进行加热升华，瓶体上设有与第一腔体连通的进料口，以及与第二腔体连通的出料管，出料管的进料端设置于第二腔体内，第二腔体的底部中央与底部边缘在竖直方向上错位设置。将存储功能与升华功能分离，避免了热源对大量固态前驱体的长时间加热，保证了蒸汽的纯度。错位设置使得物料受热更加均匀，避免了物料因受热不均而发生变性。