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案件記録

太阳电池的镀膜方法、膜层、太阳电池、光伏组件

発明有効
12請求項 · 4 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

卢琦; 张立运; 王锦乐; 夏进怡

IPC分類

C23C 16/455 (2006.01)

本申请涉及太阳电池技术领域,公开一种太阳电池的镀膜方法、膜层、太阳电池、光伏组件。镀膜方法采用镀膜设备进行,镀膜设备包括工艺管以及设置于工艺管的主体加热结构和辅助加热结构;镀膜方法包括:升温预处理:开启主体加热结构加热放置有待镀膜件的工艺管,主体加热结构被配置为按照预设温度将工艺管内升温至第一实际温度,第一实际温度小于预设温度430~510℃;沉积膜层:保持主体加热结构开启,并开启辅助加热结构,以使工艺管内升温至第二实际温度,向放置有待镀膜件的工艺管中通入反应气体,在待镀膜件上沉积膜层;第二实际温度为预设温度,或比第一实际温度更接近预设温度。采用该镀膜方法,膜层的致密性较高且爆膜程度较低。

外部リソース