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案件記録

多通道分离器线轴

発明有効
15請求項 · 3 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

S·卡玛斯; D·帕德希; A·R·巴曼; M·S·K·穆蒂亚拉

IPC分類

C23C 16/455 (2006.01)C23C 16/40 (2006.01)C23C 16/505 (2006.01)

此处所述的实施例涉及具有多通道分离器线轴的气体管线系统。在这些实施例中,气体管线系统将包括配置成供应第一气体的第一气体管线。第一气体管线通过在其中流动第一气体的多个第二气体管线耦合至多通道分离器线轴。多个第二气体管线中的各个气体管线将具有比第一气体管线的空间要小的空间。较小的第二气体管线将通过加热器护套包覆。由于第二气体管线的较小的空间,当第一气体流动通过第二气体管线时,加热器护套将充分加热第一气体,从而在第一气体在气体管线系统中与第二气体相遇时,消除在常规气体管线系统中发生的凝结引发的粒子缺陷。

外部リソース