一种可实现正面无卡点印及双面镀膜的石墨舟和方法

本发明公开了一种可实现正面无卡点印及双面镀膜的石墨舟和方法，该石墨舟包括舟托和至少一个舟架，舟架包括引电杆，引电杆上依次交替套设有引电环和内绝缘环，引电杆分成两组，在不同组引电杆上的引电环和绝缘环之间设有中间舟片，通过引电杆使相邻的中间舟片分别与舟托上的正负电极电连接，在相邻硅片之间构建电场，中间舟片包括导电本体，为中空结构，在导电本体的内侧延伸有用于卡接待镀膜硅片的卡点，使待镀膜硅片的正面完全暴露在电场中。本发明石墨舟中，通过将待镀膜硅片水平搭接在舟架的中间舟片的卡点上，不仅能够实现硅片两侧同时镀膜，且正面不会产生卡点印，同时可以兼容现有设备，能做成双舟、叠舟等多舟结构。