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기록

反应腔内用钢铁件的耐腐处理方法以及反应腔内用钢铁件

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

IPC 분류

C23C 16/50 (2006.01)C23C 16/02 (2006.01)C23C 22/07 (2006.01)C23C 4/131 (2016.01)C23C 4/08 (2016.01)C23C 4/11 (2016.01)

本发明提供反应腔内用钢铁件的耐腐处理方法以及反应腔内用钢铁件。所述反应腔内用钢铁件的耐腐处理方法首先将钢铁件表面进行脱脂除油,然后将所述钢铁件表面进行喷砂处理,接着将所述钢铁件表面进行磷化处理形成第一预定厚度的磷化膜层,之后在所述磷化膜层上进行喷涂形成第二预定厚度的ZnAlMg合金涂层,最后在所述ZnAlMg合金涂层上进行喷涂形成第三预定厚度的氧化钇YO层。本发明能有效抵抗含氟清洗气体的腐蚀,并能避免对太阳能电池的良率以及效率的不良影响。