用于CVD系统的阀控制方法

本申请涉及用于CVD系统的阀控制方法。公开了用于化学气相沉积的方法和系统。打开反应器和收集室之间的收集阀以及收集阀和收集室之间的吹扫阀，同时打开收集室的旁路阀打开，以便将收集阀和旁路阀之间的碎屑吹扫通过旁路阀。此后，关闭吹扫阀并打开收集阀，以便将沉积产物从反应器引导至收集室以进行处理。