多片式薄膜沉积腔体自适应密封传输结构及装置

本发明公开了一种多片式薄膜沉积腔体自适应密封传输结构及装置，其中传输结构，包括：框架以及设置于框架上的提升装置、传输装置、反应腔装置、传感器装置，其中，提升装置，包括升降提升支架装置、提升轴装置、升降提升轴；传输装置，包括底板，设置于底板上的相互配合的滑轨和滑块；反应腔装置。本发明通过“多片承载+自适应密封”一体化设计，解决了现有技术中多片物料传输密封不可靠、定位精度低的问题，提升了传输效率和密封稳定性，适配不同规格的薄膜沉积设备，具有广泛的应用前景。