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기록
一种SiCnw/Ni复合材料及其制备方法和应用
발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
王崇杰; 张翅腾飞; 郭泽浩; 章嵩; 张联盟
IPC 분류
C23C 28/00 (2006.01)C23C 16/32 (2006.01)C25D 3/12 (2006.01)
本发明公开了一种SiCnw/Ni复合材料及其制备方法和应用。所述SiCnw/Ni复合材料的制备方法包括如下步骤:将基底材料放入激光化学气相沉积设备的沉积腔中,将沉积腔中抽真空至10Pa以下,通入H和携带前驱体的载气,调节沉积压强至目标值并使其稳定;开启激光对基底材料进行加热,使其温度升至沉积温度并开始沉积,沉积完成后,依次停止通入前驱体和载气,关闭激光,随后停止通入H,将反应室抽真空至20Pa以下,待基底材料冷却至室温后取出并在表面电镀镍。本发明制得的SiCnw/Ni复合材料在0.39 mm厚时屏蔽效能达69 dB(8~12 GHz),柔韧性好、稳定性高,应用前景广阔。