一种兼容型钼铝混酸蚀刻液及钼铝蚀刻方法

本发明公开了一种兼容型钼铝混酸蚀刻液，按质量百分比计，包括：4%～7%的硝酸、55%～65%的磷酸、17%～28%的乙酸、0.5%～3%的氧化性添加剂、0.05%～5%的金属缓蚀剂和10%～20%的去离子水，氧化性添加剂为硝酸高铈盐和选自硝酸钠、硝酸钾和硝酸铵中至少一种；蚀刻液不包含除有机羧酸和有机羧酸盐外的其他有机组分。该兼容型钼铝混酸蚀刻液在引入硝酸高铈盐的基础上降低硝酸含量，加入硝酸盐提升硝酸根离子浓度，提升蚀刻液体系的整体氧化性能，调整不同金属的蚀刻速率比，减小CD‑Bias，控制钼单层和钼铝叠层的蚀刻倾角均保持于20～50°，改善铝刺问题。本发明还公开了一种基于兼容型钼铝混酸蚀刻液的钼铝蚀刻方法。