一种太阳能电池铜栅线电镀工艺及电镀设备

本发明提供一种太阳能电池铜栅线电镀工艺及电镀设备，涉及光伏技术领域。本发明提供的太阳能电池铜栅线电镀工艺包括以下步骤：对电池片铜种子层进行预处理，在铜种子层上制备铜纳米颗粒层；依次进行第一阶段电镀、第二阶段电镀以及第三阶段电镀；第一阶段电镀和第二阶段电镀均采用直流电流且第二阶段电镀的电流密度大于第一阶段电镀的电流密度，第三阶段电镀的电流类型为脉冲电流。本发明提供的电镀设备包括电镀挂具、用于对铜种子层进行预处理的预处理室、用于进行第一阶段电镀的第一电镀室、用于进行第二阶段电镀的第二电镀室和用于进行第三阶段电镀的第三电镀室。本发明具有减少铜栅线生长过程中的气泡虚断的效果。