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기록
一种二维TbOCl单晶材料的制备方法及其在场效应晶体管中的应用
발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
陈萍; 沈伟; 胡大健; 徐威; 江姜; 蒋阳
IPC 분류
C30B 9/12 (2006.01)C30B 29/10 (2006.01)H10D 30/67 (2025.01)H10D 64/68 (2025.01)
本发明公开了一种二维TbOCl单晶材料的制备方法及其在场效应晶体管中的应用。本发明将助熔剂和TbCl·7HO粉末按预设比例混合得到前驱体;将所述前驱体在温度为400‑800℃、惰性气体氛围的条件下保温,然后在自然冷却到室温,得到二维TbOCl单晶材料。本发明所制备的二维TbOCl单晶材料具有稳定性高、无毒无害、制备简单的特点;利用二维TbOCl单晶材料作为介电层对半导体MoS沟道进行调控构筑LaOCl/MoS场效应晶体管,制备的器件具备一定的优良性能。