一种具有斜壁式水冷热屏的单晶炉

本发明属于单晶炉技术领域，具体的说是一种具有斜壁式水冷热屏的单晶炉，包括炉座；所述炉座上固接有炉体；所述炉座上靠近炉体的一侧安装有提升机构；所述炉体的内壁底部固接有坩埚加热组件；所述炉体的内壁顶部固接有环形板；所述环形板的内部开设有流通槽；通过设置的依靠设置漏斗状的水冷热屏产生斜壁，替代了传统的直壁，使得晶棒在拉伸过程中，受热更加均匀，减少了因温度梯度引起的内部应力，进一步提升了晶棒的晶体质量，同时，斜壁式设计还增大了热交换面积，配合锥形螺旋状的水冷通道，实现了更高效的热量传递与散失，有效控制了单晶炉内的温度分布，为单晶生长提供了更加稳定和适宜的热环境。