一种具备水冷下轴升降旋转机构的单晶炉

本发明公开了一种具备水冷下轴升降旋转机构的单晶炉，包括坩埚轴和石墨托杆，所述坩埚轴和石墨托杆内部中空，所述水冷下轴升降旋转机构包括水冷芯管、水冷旋转接头和升降驱动装置，所述水冷芯管设置于坩埚轴和石墨托杆内部，坩埚轴和石墨托杆通过连接件固定连接，所述水冷芯管穿过坩埚轴内部及坩埚轴与石墨托杆的连接处至石墨托杆内部，所述水冷旋转接头与水冷芯管连接，用于水冷芯管的进水和回水，所述水冷芯管与坩埚轴、石墨托杆同轴旋转，所述升降驱动装置用于驱动水冷芯管升降。通过在石墨托杆内及石墨托杆连接件内安装水冷芯管，实现对石墨托杆降温，从而螺钉因温度低不被咬死，有效降低坩埚中硅液的氧含量，提高晶体品质。