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기록
单晶炉用加热器及单晶炉
발명유효
11청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
杨政; 周涛; 顿红明; 鲍迪; 李赫; 刘晓佳
IPC 분류
C30B 15/14 (2006.01)C30B 29/06 (2006.01)
本申请公开了一种单晶炉用加热器及单晶炉,属于单晶制造技术领域。所述单晶炉用加热器包括加热圈,所述加热圈包括第一加热部和第二加热部,所述第一加热部和所述第二加热部相对间隔设置,所述第一加热部和所述第二加热部围合形成环状结构的所述加热圈;支撑脚板,所述支撑脚板包括第一组支撑脚板和第二组支撑脚板,所述第一组支撑脚板可拆卸地连接于所述第一加热部,所述第二组支撑脚板可拆卸地连接于所述第二加热部;沿所述加热圈的高度方向,所述第一组支撑脚板和所述第二组支撑脚板连接于所述加热圈的同侧。