一种液相法碳化硅晶体生长装置及生长方法

本发明公开了一种液相法碳化硅晶体生长装置，包括内部有保温腔的保温组件、固定于保温腔内的坩埚、与坩埚适配的测温仪和加热组件；坩埚内有生长腔，保温组件顶部贯穿有籽晶杆，籽晶杆与坩埚同轴且籽晶杆的轴线沿竖直方向延伸，籽晶杆底端联动设置有承载碳化硅晶体的籽晶托，籽晶杆能够往复升降以带动籽晶托经由过料口进出生长腔；加热组件包括内发热筒、外发热筒以及感应加热线圈，内发热筒及外发热筒均同轴套设于坩埚的外部，外发热筒的外周壁沿周向贴合适配于保温腔的内周壁，内发热筒能够往复升降地滑动适配于外发热筒的内周壁上，且内发热筒的内周壁与坩埚的外周壁间隙配合。本发明还公开一种应用上述液相法碳化硅晶体生长装置的生长方法。