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기록
一种同步辐射用金刚石单色器制备方法
발명유효
4조회수
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
刘晓晨; 葛新岗; 姜龙; 李义锋; 安晓明; 孙振路; 郭辉; 张利辉
IPC 분류
C30B 29/04 (2006.01)G01N 23/20 (2018.01)C30B 33/02 (2006.01)
本发明提供了一种同步辐射用金刚石单色器制备方法,属于同步辐射光学元件制备技术领域,包括以下步骤:选取天然Ⅱa型金刚石或CVD金刚石为晶体坯料;对坯料激光切割,获得含第一、第二晶体的样品,二者晶体取向偏差<1′;对两晶体表面抛光,使表面粗糙度Sa<0.5nm、平面度<0.3um;制备带内部冷却通道的冷却基座;将两晶体分别固定于独立冷却基座,得第一、第二组件;组件各装独立三维调整架,调整架固定于刚性底座,使两晶体前后交错,获单色器本体;在同步辐射光源搭建匹配光路系统,对单色器本体进行质量测试。本发明提供的一种同步辐射用金刚石单色器制备方法,使制备的金刚石双晶单色器能满足严苛热负载需求,显著提升单色光的稳定性与可靠性。