提升12寸重掺砷晶棒产量的拉晶方法

本发明涉及单晶硅生产技术领域，尤其涉及一种提升12寸重掺砷晶棒产量的拉晶方法，该方法使用12寸单晶炉拉制12寸重掺砷晶棒，且单晶炉内设置有32英寸的石英坩埚；该方法包括以下步骤：投料、熔化、引晶、放肩、等径及收尾；其中，在投料过程中，投入石英坩埚中的多晶硅的总重量控制在320~380kg，同时按照预定比例向坩埚中投入掺杂剂；如此，在拉制12寸重掺砷晶棒时，通过将投入石英坩埚的多晶硅总重量控制在320~380kg的范围内时，既能解决投料量过低导致的晶棒长度和重量不足，又能有效控制投料量过高可能引发的熔体流动不稳定、晶棒缺陷增多等质量风险，进而提升单次拉晶的实际产出能力，从而满足市场对高性能硅片日益增长的需求。