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기록

一种改善氮化铝光学性质的退火装置和方法

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

武红磊; 曾键淦; 李文良; 刘千瓴; 谭国豪

IPC 분류

C30B 33/02 (2006.01)C30B 29/40 (2006.01)F27B 14/04 (2006.01)F27B 14/10 (2006.01)F27B 14/12 (2006.01)

一种改善氮化铝晶体光学性质的退火装置和方法,所述装置包括:退火坩埚盖、退火坩埚、结晶态氮化铝、支撑结构。其中,退火坩埚盖、退火坩埚、支撑结构同心与所需要改善光学特性的退火晶体同心,支撑结构放置在坩埚底部中心位置处,坩埚盖放置在坩埚上,坩埚盖与坩埚组成了封闭空间,并在构建的封闭空间内壁与所述的支撑结构组成的空间内放置结晶态氮化铝晶体;以在退火温度下完成氮化铝晶体的退火。通过对氮化铝晶体退火,实现了氮化铝晶体内部应力的降低和缺陷密度降低,使退火完的氮化铝晶体具有更好的光学特性。