一种磁悬浮分子泵故障检测方法及其模型构建方法

本发明提供了一种磁悬浮分子泵故障检测方法及其模型构建方法，属于半导体工艺中抽真空分子泵故障诊断领域。通过在磁悬浮分子泵上部署振动传感器去得到磁悬浮分子泵的实时振动数据；基于集合经验模态分解对收集到的在正常工作以及故障模式下工作的磁悬浮分子泵振动数据进行处理，得到分解后的特征数据；之后构建了基于机器的磁悬浮分子泵故障检测模型，并利用分解后的特征数据对此预测模型进行训练。随后，在半导体制造生产阶段，将此预测模型部署到磁悬浮分子泵之中，利用实时获得的磁悬浮分子泵振动数据对磁悬浮分子泵运行时可能产生的故障进行实时检测。本发明可以提升故障检测的效率、准确率，并提升半导体生产制造效率。