一种用于高速、高加速度运动的无摩擦气缸

本发明涉及超精密加工设备领域，尤其涉及一种用于高速、高加速度运动的无摩擦气缸，包括气缸主体和活塞组件，气缸主体包括缸体和缸体两端的活塞杆导套；活塞组件活动设置于气缸主体内，活塞组件包括活塞和连接于活塞两端的活塞杆。通过将高压腔设为唯一气腔并采用快速独立排气通路，削弱高速、高加速度运行时的排气阻力，从而显著提升气缸的动态响应速度和加速度能力，同时避免了高压腔向低压腔排气，降低了气缸的耗气量；静压轴承副由高压腔直接供气，使轴承气膜压力与腔体压力自动同步，消除因压力源不同而产生的气膜扰动，大幅提高运动稳定性、刚度和精度。本发明整体结构简化，气缸更易于生产、装配和维护，实现了高性能与低成本的结合。