一种真空环境下大型水平滑台轴承可靠性回油系统及方法

本发明公开了一种真空环境下大型水平滑台轴承可靠性回油系统及方法，包括真空环境舱单元、常压油源单元、回油驱动单元及控制单元，真空环境舱内设有全密封T型静压轴承、中转油箱，常压油源单元含不锈钢油箱及主供油、驱动供油、驱动回油、主回油四条支路，各支路通过穿舱密封结构与真空舱密封连通；回油驱动单元采用液压马达与回油螺杆泵传动连接，适配真空负压抽送回油；控制单元通过液位、压力传感器采集信号，调控各支路运行。本发明解决了真空环境下回油困难及动力部件散热不良问题，实现油液精准分配与闭环循环，提升了系统密封可靠性与运行安全性，适用于真空环境下大型水平滑台的轴承回油场景。