一种可动态调节气浮直线导轨及其调节方法

本申请属于直线导轨技术领域，公开了一种可动态调节气浮直线导轨及其调节方法，通过设置多个动态调节单元，主动调整气浮轴承与运动载台之间的相对距离，实现对运动载台姿态的精确控制;采用独立设置在导轨基体外的参考基准件和非接触式位移传感器组合，确保了测量基准的独立性和高精度;闭环控制系统根据实时测量信号生成控制指令，驱动动态调节单元进行动态补偿，从而有效修正运动载台在运行过程中产生的直线度误差;从而，能够显著提升气浮直线导轨的运动精度和稳定性，使其能够满足亚微米甚至纳米级的超精密应用需求，克服了传统气浮导轨在超精密应用中难以满足日益严苛的精度要求。