一种用于连接高真空管路的二段式真空角阀

本发明涉及二段式开启真空角阀技术领域，具体涉及一种用于连接高真空管路的二段式真空角阀，包括角阀固定机构、升降组件；所述角阀固定机构包括上盖板、气缸体和阀体，阀体包括主活塞、辅活塞、主阀芯和辅阀芯；所述主通气口与气缸体的主腔室联通，辅通气口与气缸体的辅腔室联通；升降组件包括主活塞、辅活塞和波纹管，用于控制主阀芯或辅阀芯开闭，且辅阀芯的流量可调节。本发明通过串联气缸及导向结构的设计应用，使角阀具有二段开启的稳定升降功能；通过辅阀芯的涡状线结构、异形活塞及刻度盘的串联结构设计，使得无需拆开角阀的前提下，调节慢抽流量大小，且可以通过角阀上端的可视化开口。